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涂胶显影机一体机(招标预告)

所属地区 北京 - 海淀 预算金额
项目编号 投标截止日期
招标单位 清华大学 招标联系人/电话
代理机构 代理联系人/电话
  • 公告详情
您当前为:【游客状态】 ,文中****为隐藏内容,仅对会员开放,   后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-999-4928
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  教育部申请******** 采购项目采用单*来源方式采购,项目预算金额 ****.****** *元(人民币),该项目拟由制造商:东京毅力科创株式会社(***** ******** *******,***);制造商地址:******* *** *****, *-* ******* *-*****,******-**, ***** ***-****, *****提供(或承担)。现将有关情况向潜在****供应商征求意见。征求意见期限从****年**月**日至 ****年**月**日 止。

  潜在****供应商对公示内容有异议的,请于公示期满后*个工作日内以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式将意见反馈至财政部国库司****管理处(联系电话:***********;***********)和教育部(联系人:倪老师,联系电话:********),以及使用单位****(地址:****市****区清华园,联系人:****, 联系电话:********)。

附件:

*、专家论证意见及专家姓名、工作单位、职称;

(*) *-单*来源论证专家意见表扫描件--涂胶显影*体机_**.***; (*) *-单*来源论证专家意见表扫描件--涂胶显影*体机_**.***; (*) *-单*来源论证专家意见表扫描件--涂胶显影*体机_**.***;

****年*月**日

单*来源采购专家论证意见表
时间:****年*月**日
专家论证意见 ****是实现超精细线条图形化的必要前道设备。为满足****工艺和先进集成工艺超精细线条加工需求,必须购买*台与高精度***深紫外光刻机联机作业的涂胶显影*体机,以实现高精度、高分辩率的涂胶显影联动工艺。这次拟采购的****的关键技术指标有:①能够与扫描步进式光刻机相配套,配置****;②涂胶膜厚均匀性:**&**;**.***(@*.****+/-*.***);③显影均匀性:**&**;****(@*****);④高精度冷热复合盘温度均匀性:≤±*.*℃(**℃-***℃);与扫描步进式光刻机联机使用可实现稳定运行,******:***%。经市场调研,国产的****的显影均匀性、高精度冷热复合盘温度均匀性等关键指标不能满足需求。国外产品只有日本东京毅力科创株式会社(********************,日本东京电子公司,***)的型号****设备能够与*英寸***光刻机联机运行,且各项指标均能满足上述配置及工艺要求,并可获得***全方位的技术支持。鉴于以上原因,我认为本项目必须以单*来源的方式从东京毅力科创株式会社(***)购置该设备。专家姓名:黄业享职称:高级程心工作单位:中国科学半导体码
项目金额 *****元
项目名称 ****
使用单位 ****
主管单位 教育部
单*来源采购专家论证意见表
时间:****年*月**日
专家论证意见 ****是与光刻机联机作业实现超精细线条图形化必须的前道设备。为满足****工艺和先进集成工艺超精细线条加工需求,必须购买*台与高精度***深紫外光刻机联机作业的涂胶显影*体机,以实现高精度、高分辩率的涂胶显影联动工艺。本次拟采购的****的关键技术指标有:*、能够与扫描步进式光刻机相配套,配置****;*、涂胶膜厚均匀性:**&**;**.***(@*.****+/-*.***);*、显影均匀性:**&**;****(@*****);*、高精度冷热复合盘温度均匀性;≤±*.*℃(**℃-***℃);*、与扫描步进式光刻机联机使用可实现稳定运行,******:***%。经市场调研,国产的****的显影均匀性、高精度冷热复合盘温度均匀性等关键指标不能满足需求。国外产品只有日本东京毅力科创株式会社(********************,日本东京电子公司,***)的型号****设备能够与*英寸***光刻机联机运行,且各项指标均能满足上述配置及工艺要求,并可获得***全方位的技术支持。鉴于以上原因,我认为本项目必须以单*来源的方式从东京毅力科创株式会社(***)购置该设备。专家姓名:职称:*工作单位:**
项目金额 *****元
项目名称 ****
使用单位 ****
主管单位 教育部
单*来源采购专家论证意见表
时间:****年*月**日
专家论证意见 ****是实现超精细线条图形化的必要前道设备。为满足****工艺和先进集成工艺超精细线条加工需求,必须购买*台与高精度***深紫外光刻机联机作业的涂胶显影*体机,以实现高精度、高分辨率的涂胶显影联动工艺。这次拟采购的****的关键技术指标有:①能够与扫描步进式光刻机相配套,配置****;②涂胶膜厚均匀性:**&**;**.***(@*.****+/-*.***);③显影均匀性:**&**;****(@*****);④高精度冷热复合盘温度均匀性:≤±*.*℃(**℃-***℃);与扫描步进式光刻机联机使用可实现稳定运行,******:***%。经市场调研,国产的****的显影均匀性、高精度冷热复合盘温度均匀性等关键指标不能满足需求。国外产品只有日本东京毅力科创株式会社(********************,日本东京电子公司,***)的型号****设备能够与*英寸***光刻机联机运行,且各项指标均能满足上述配置及工艺要求,并可获得***全方位的技术支持。鉴于以上原因,我认为本项目必须以单*来源的方式从东京毅力科创株式会社(***)购置该设备。专家姓名:*职称:工作单位:
项目金额 *****元
项目名称 ****
使用单位 ****
主管单位 教育部
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